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美國SRS CIS系列封閉離子源式質譜儀 CIS系列封閉離子源式質譜儀 ? 100，200 和300amu 系統 ? 1 ppm 的檢測

美國SRS PPR系列過程檢測系統 主要應用：真空在線檢測；高真空成份分析；MOCVD 等在線過程監控；10mTorr-10Torr 真空度內反應過程檢測等等

美國SRS QMS系列四極質譜儀 QMS系列四極質譜儀 一個高效，低成本的寬范圍的質譜分析儀。廣泛的有效應用，具有高性價比的解決方案，這個質譜分析簡化了在線過程檢測和氣體分析，泄漏檢測和故障診斷分析等實驗。

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美國SRS RGA系列殘余氣體分析儀 RGA系列殘余氣體分析儀可以定量和定性分析出真空腔中殘余氣體的濃度和成分。